Energieeffizienter Transport

Gurttransport RDS Solar

Getrennter Transport

Flexible Gurtsysteme

Der RDS Trocknungsofen garantiert durch sein bewährtes Transportsystem einen sicheren Durchlauf der Wafer durch die Anlage. Die Flexibilität des Transportsystems spiegelt sich in der Auswahl von Einzel- und Doppelspur wider. Der hochwertig verarbeitete Gurt der Transporteinheit gewährleistet einen vibrationsarmen Durchlauf, ohne zusätzliche Belastung der Zelle und somit eine geringe Bruchrate. Erhältliche Transportband-Varianten für die Heizzone sind: Gurte mit geschweißten, gebogenen sowie geschlungenen Kanten.

Geteilter Transport

Des Weiteren gibt es eine Separierung der Transporteinheit zwischen Heiz- und Kühlzone. Dieser getrennte Transport reduziert die Verschleppung von Wärme in die Kühlzone, wodurch ein erhöhter Abkühlgradient erreicht wird. Ein weiterer Vorteil der getrennten Gurteinheiten ist der geringere Energieaufwand der erbracht werden muss, da nur die Masse des Substrates und nicht das gesamte Transportsystem gekühlt werden muss.

Stand-Offs für sicheren Wafer-Transport

Die horizontalen Durchlauföfen garantieren einen sicheren Transport durch die Anlage. Zur Verfügung stehen Geflechtsband, Teflonband oder Stiftkette ausgeführt als Einzel- oder Doppelspurtransport. Das Geflechtsband ist mit unterschiedlichen Stand-Offs für einen sicheren Transport der Wafer erhältlich.

Keramik Stand-Off

Welded Stand-Off

Welded Stand-off