Die Kühlstrecke: Effizient – Leistungsstark – Wartungsarm

Die Kühlung des Fast Firing arbeitet nach dem Prinzip der Zwangskonvektion. Dabei wird über ein leistungsstarkes Gebläse die Luft aus der Prozesskammer abgesaugt und durch ein Filtersystem geleitet. Anschließend wird die kalte Luft wiederum in die Kammer auf die Wafer geströmt.

Die Kühlleistung kann zum einen über die Intensität der Lüfter (Drehzahlregelung), als auch über eine integrierte Wasserkühlung (Kühlwasserkreislauf) geregelt werden. Somit kann stets der optimale Kühlgradient für die entsprechenden Anforderungen eingestellt werden.

Die Kühlkammer kann manuell wie auch die Prozesskammer nach oben hin geöffnet werden, wodurch eine gute Zugänglichkeit für Wartungsarbeiten gewährleistet ist. Die Filter sind über eine Einschubvorrichtung im System integriert und können auf diese Weise einfach herausgenommen und gewechselt werden.