Optimale Prozessperformance für beste Zellergebnisse

Strömungsverlauf in der Prozesskammer

Die RFS und RFS-D Fast Firing Systeme von Rehm Thermal Systems bieten eine Vielzahl an fortschrittlichen Prozessmerkmalen und thermischen Einstellmöglichkeiten welche den Photovoltaikherstellern eine neue Ebene von Effizienz und Produktivität eröffnet.

Die Prozesskammer besteht aus einem mehrschichtigen keramischen Isolierungsaufbau. Durch das in der Kammer integrierte Lüftungskonzept, ist eine Regelung jeder einzelnen Zone gewährleistet. Dabei wird das kühle Prozessgas an der Außenwand, entlang der aufgeheizten Prozesskammer über die IR-Strahler in den Innenraum geleitet. Nach dem Venturiprinzip wird anschließend das Gas aus der Kammer gesaugt. Dadurch bleibt die Außenwand der Kühlkammer auf Raumtemperatur und der Energieverlust minimal. Zudem wird eine homogene Wärmeverteilung durch laminaren Flow ohne zusätzliche Heizkosten erreicht.