Ob Einzel-oder Doppelspur – Immer sicher durch den Ofen

Doppelspurtransport mit Geflechtsband

Die Anlage bietet ein flexibles Transportsystem für vielfältige Bestückungsanforderungen. So stehen unterschiedliche Gurtbreiten, als auch Gurttypen zur Verfügung. Bei einem Betrieb mit Dreifachspurtransport ist ein maximaler Durchsatz von 5700 Wafern pro Stunde bei einer Höchstgeschwindigkeit von 6800 mm pro Minute möglich. Alle RFS Gurte sind mit einer Aufständerung lieferbar.

Durch die optimale Verarbeitung und das hochwertige Material des Gurtes sowie einer Führung auf Quarzstäben, ist ein vibrationsarmer Transport der Wafer gewährleistet. Dank der guten Beständigkeit von Nickel-Chrom V bei hohen Temperaturen, hält die Fördereinheit problemlos den Temperaturen bis 1000 °C während des Firing Prozesses stand.

Geteilter Transport

Geteilter Transport RFS

Ein weiterer positiver Aspekt sind die getrennten Gurtsysteme zwischen Feuerungszone und Kühlzone. Dies bewirkt einen geringen Wärmeübertrag in die Kühlzone und folglich ein schnelles Abkühlen der Wafer nach dem Feuerungsprozess. Die Auslauftemperatur der Wafer beträgt bei getrenntem Gurt <40 °C, im Vergleich zu einem durchgängigen Band, bei dem die Temperatur deutlich höher ist.

Darüber hinaus wird durch die getrennten Transporteinheiten der Energieaufwand für die Wafer-Kühlung um 2 kW reduziert, wodurch Betriebskosten eingespart werden können.

Stand-Offs für sicheren Wafer-Transport

Die horizontalen Durchlauföfen garantieren einen sicheren Transport durch die Anlage. Zur Verfügung stehen Geflechtsband, Teflonband oder Stiftkette ausgeführt als Einzel- oder Doppelspurtransport. Das Geflechtsband ist mit unterschiedlichen Stand-Offs für einen sicheren Transport der Wafer erhältlich.

Ceramic stand-offs

Edge stand-offs

Welded stand-offs