Die Prozesskammer des RDS besteht aus einem stabilen Edelstahlgehäuse.
Das Heizsystem besteht aus einzeln parametrisierbaren Zonen, die mittels IR-Strahler beheizt werden. Spiegelbleche ober- und unterhalb des Transportgurtes bewirken eine ausgeglichene Wärmereflexion in der Prozesskammer. Darüber hinaus findet durch den Einsatz einer Konvektionsheizung und das clevere Luft-Zirkulationsprinzip, ein homogener Wärmeeintrag in die Wafer statt.

Das System ist besonders wartungsfreundlich konzipiert. Für eine gute Erreichbarkeit der Innenkammer ist der obere Kammerteil mit einem Hubmotor ausgestattet, was ein einfaches Öffnen ermöglicht. Die integrierten Spiegelbleche können zu Reinigungszwecken leicht entnommen, gereinigt und wieder eingelegt werden.
Die Strahlereinheiten sind durch eine Einschuböffnung im System fixiert und können durch Demontage von Blendenblechen und Isoliermaterial, ohne größere Schwierigkeiten ausgebaut werden.

Variable Temperaturprofilierung

Unterschiedliche Temperaturen bei gleicher Transportgeschwindigkeit


Transportgeschwindigkeiten 2000 – 6000 mm/min