在太阳能晶圆金属化糊料的加热过程中,有机化合物(VOC)会挥发出烟雾和水蒸汽等,必须安全地从干燥系统的制程炉膛中除去,以确保太阳能电池的高质量生产。由于装置内部的高温,热氧化剂以高达99.9%的效率将烟道气体中的VOC进行分解,例如为醇、甲苯和松油醇。干燥系统的废气污染物的最低浓度确保符合法律标准(如德国TA Luft)。释放出的气体主要含有水和二氧化碳。锐德热力设备有限公司VOC逆流反应器(CFR)是屡获殊荣的热氧化器的升级版,是一种高效的废气净化系统,适用于废气中含有高浓度VOC(即过程中产生的挥发性有机化合物)的广泛用途。