低维护冷却区
快速烧结炉是采用强制对流原理冷却的。高性能的风扇将空气从工艺炉膛中抽出，并通过过滤系统输出。随后，冷空气被输送至炉膛内，再次到达晶圆上。冷却能力可以通过风扇的强度（速度）来调节，也可以通过集成水冷却系统（冷却水回路）来控制。这意味着，始终可以根据需要设置出最优的冷却斜率。与工艺炉膛一样，冷却区也可以使用电机向上开启，这确保了维修工作的便利性。
灵活的传输系统
该系统为广泛的装载需求提供了灵活的传输系统。我们可提供不同的传输带带宽和类型。对于采用双轨运输的操作，最大吞吐量可达到5300片/小时。所有RFS传输带均可配备支架。由于传输带采用了优质的材料和工艺，并带有石英导向棒，可确保晶圆在几乎无振动的条件下进行传输。由于镍铬合金具有良好的耐高温性能，因此在烧结过程中，即便长时间处于高达1000℃的恒温下，传输系统也完全没有任何问题，确保具有较长的使用寿命。
Fast-Firing-System nach dem Prinzip der Zwangskonvektion
为制造而生的智能软件解决方案
您是否希望对所有的制程进行可靠地监视、管理和记录？Visu 2操作软件可以为您提供制程工具、远程控制和条形码连接选项。可以使用简单的“晶圆计数器”系统，完全连接到MES系统，智能化收集操作和设备数据。另外，Visu 2操作软件不仅具有直观的触摸操作界面，能大大减少人员配置和培训成本。只需点击几下即可获得全面的制程文档。还能提供多级密码保护管理、语言选择、数据显示和维护日志。
