Транспортировка с низким уровнем вибрации - будь то конвейерная лента или цепь, или комбинированный конвейер - транспортировочное устройство в одно- или двухполосном исполнении отвечает высоким требованиям производства полупроводников и обеспечивает дополнительную технологическую безопасность. Особое преимущество системы состоит в гибкой настройке секции охлаждения. Благодаря этому компоненты в соответствующих зонах могут обдуваться холодным или теплым воздухом. Также возможно сочетание «холодный воздух сверху/теплый воздух снизу» или наоборот. Это обеспечивает гибкую температурную регуляцию на выходе и охлаждение без напряжения со щадящим воздействием на конструкционные элементы.
При разработке VisionX Semico, разумеется, основное внимание уделялось энергоэффективности и простоте обслуживания. Система имеет изоляцию особо высокого качества, которая не только отвечает требованиям чистых помещений, но и обеспечивает максимальную энергоэффективность в технологической камере. Для надежной очистки технологического воздуха в стандартном серийном исполнении используется пиролиз. При обслуживании всего один раз в год пиролитическая установка обеспечивает сухость и чистоту рабочей камеры, а также соответствие вытяжного воздуха техническим требованиям чистых помещений. Кроме того, в секцию охлаждения в стандартном серийном исполнении встроен конденсатоотводчик, который надежно отделяет кристаллические остатки, упрощает обслуживание и увеличивает интервалы между работами по обслуживанию. Благодаря своему техническому исполнению в сочетании с инновационным современным программным обеспечением система VisionX Semico оптимально оснащена для всех уже используемых или будущих решений SECS/GEM/промышленности 4.0/MES.
Разработанная компанией Rehm Thermal Systems система VisionX Semico оптимально подходит для производства компонентов в условиях чистых помещений и в очередной раз доказывает непревзойденную компетенцию компании Rehm во всем, что связано с тепловыми системами.
