Optimale Prozessperformance für beste Zellergebnisse

Die neuen Fast-Firing-Systeme für die typische mono- und multikristalline Solarzellenfertigung überzeugen durch ihre hohe Qualität und ihren modularen Aufbau, der unterschiedliche Linienlösungen ermöglicht. Die Fast-Firing-Systeme von Rehm gibt es als reines Fast-Firing-System RFS oder mit integriertem Trockner als RFS-D. Die wartungsfreundliche Konzeption dieser Systeme, der geringe Energieverbrauch, hoher Durchsatz und die intelligenten Softwarelösungen zeichnen diese qualitativ hochwertigen Anlagen für die Metallisierungslinie aus. Alle Systeme sind mit kurzwelligen IR-Strahlern in Ober- und Unterseitenheizung ausgestattet. Die kontinuierliche Prozessüberwachung und Visualisierung garantiert höchste Prozessqualität. Rehm Solar-Systeme werden nach höchsten Qualitätsanforderungen entwickelt und produziert, basierend auf der jahrzehntelangen Erfahrung im Bereich thermischer Systemlösungen.

Wartungsarme Kühlstrecke

Die Kühlung des Fast Firing arbeitet nach dem Prinzip der Zwangskonvektion. Dabei wird über ein leistungsstarkes Gebläse die Luft aus der Prozesskammer abgesaugt und durch ein Filtersystem geleitet. Anschließend wird die kalte Luft wiederum in die Kammer auf die Wafer geströmt. Die Kühlleistung kann zum einen über die Intensität der Lüfter (Drehzahlregelung), als auch über eine integrierte Wasserkühlung (Kühlwasserkreislauf) geregelt werden. Somit kann stets der optimale Kühlgradient für die entsprechenden Anforderungen eingestellt werden. Die Kühlkammer kann wie auch die Prozesskammer per Hubgetriebe nach oben hin geöffnet werden, wodurch eine gute Zugänglichkeit für Wartungsarbeiten gewährleistet ist.

Flexibles Transportsystem

Die Anlage bietet ein flexibles Transportsystem für vielfältige Bestückungsanforderungen. So stehen unterschiedliche Gurtbreiten, als auch Gurttypen zur Verfügung. Bei einem Betrieb mit Doppelspurtransport ist ein maximaler Durchsatz von 5300 Wafern pro Stunde möglich. Alle RFS-Gurte sind mit einer Aufständerung lieferbar. Durch die optimale Verarbeitung und das hochwertige Material des Gurtes sowie einer Führung auf Quarzstäben, ist ein vibrationsarmer Transport der Wafer gewährleistet. Dank der guten Beständigkeit von Nickel-Chrom V bei hohen Temperaturen, hält die Fördereinheit problemlos den Temperaturen bis 1000 °C während des Firing-Prozesses stand und garantiert eine lange Standzeit.

Geringer Wärmeübertrag in der Kühlzone durch getrennte Gurtsysteme

Ein weiterer positiver Aspekt sind die getrennten Gurtsysteme zwischen Feuerungszone und Kühlzone. Dies bewirkt einen geringen Wärmeübertrag in die Kühlzone und folglich ein schnelles Abkühlen der Wafer nach dem Feuerungsprozess. Die Auslauftemperatur der Wafer beträgt bei getrenntem Gurt <40 °C, im Vergleich zu einem durchgängigen Band, bei dem die Temperatur deutlich höher ist. Darüber hinaus wird durch die getrennten Transporteinheiten der Energieaufwand für die Waferkühlung um 2 kW reduziert, wodurch Betriebskosten eingespart werden können.

VOC-Handling im integrierten Trockner

Beim Trocknungsprozess verdampfen Rauch und Dämpfe aus flüchtigen Bestandteilen der organischen Verbindungen (VOC). Diese müssen aus der Prozesskammer entfernt werden, um konstante Bedingungen für Folgeprozesse zu gewährleisten und um hochwertige Solarzellen zu produzieren. Der integrierte Oxidizer verlegt die VOC bei hohen Temperaturen zu Wasser und Kohlendioxid mit einem Wirkungsgrad von bis zu 99,9 % und sorgt bei diesem Prozess für geringste Schadstoffkonzentrationen im Abgas.

Smarte Software für Ihre Fertigung

Sie möchten alle Prozesse zuverlässig überwachen, verwalten und dokumentieren? Die Visu 2 schließt Prozesstools, Fernwartung und Barcode-Anbindungsmöglichkeiten ein. Ein einfaches „Wafer-Counter“-System ist ebenso möglich wie eine vollständige Anbindung an ein MES-System zur intelligenten Betriebs- und Maschinendatenerfassung. Die Visu 2 verfügt über eine intuitive Bedienoberfläche welche den Aufwand für Einstellungen und Bedienertraining erheblich reduziert. Eine umfassende Dokumentation ist mit ein paar Klicks abrufbar. Die Visu 2 bietet zudem eine passwortgeschützte Verwaltung mit mehreren Ebenen, Sprachauswahl, Datenaufzeichnung und Wartungsprotokolle.